型號：Agilent TwisTorr 304 FS
特點：Agilent TwisTorr 304 FS 高真空渦輪分子泵采用 Twistorr 拖動技術和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經濟性。TwisTorr 拖動技術對小分子氣體（如氫氣和氦氣）能提供高壓縮比，從而實現大抽氣量和高前級耐壓，進而能使用更經濟實惠、更小型的前級泵。該技術使得轉子能采用緊湊的設計，變得高效節能，并能保持較低的工作溫度。
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Agilent TwisTorr 304 FS 高真空渦輪分子泵采用 Twistorr 拖動技術和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經濟性。TwisTorr 拖動技術對小分子氣體（如氫氣和氦氣）能提供高壓縮比，從而實現大抽氣量和高前級耐壓，進而能使用更經濟實惠、更小型的前級泵。該技術使得轉子能采用緊湊的設計，變得高效節能，并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統降低了噪音和振動，并能保證穩定的軸承工作條件，從而能延長工作壽命，最大程度縮短系統停機時間，并能確保長時間穩定的抽氣性能。TwisTorr 304 FS 泵獨有的軸承和干式潤滑劑設計，使得泵無需泵油和維護，能夠以任意方向安裝。可選擇一體式控制器或機架控制器。
特性：
典型渦輪泵應用
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設計旨在實際應用中達到更高性能。泵的緊湊型設計滿足工業中的嚴苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護，并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設備制造商，安捷倫均可針對您的應用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統。
典型渦輪泵應用
| 領域 | 詳細說明 | 應用 |
| 質譜和分析儀器 |
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| 科研中的真空應用 |
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| 工業真空加工 |
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薄膜沉積：
設備加工：
一般工藝：
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| 納米技術儀器 |
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性能指標
技術規格
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抽速： 使用 CFF 6 英寸或 ISO 100：使用 CFF 8 英寸或 ISO 160： |
N2：250 L/s
N2：250 L/s
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He：255 L/s
He：255 L/s
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H2：220 L/s
H2：220 L/s
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Ar：250 L/s
Ar：250 L/s
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全轉速最大氣載（使用推薦前級泵） 環境溫度 (25 °C) 水溫 (25 °C，50 L/h) |
N2：170 sccm N2：170 sccm |
Ar：110 sccm Ar：110 sccm |
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| 壓縮比與前級壓力關系： |
N2：> 1 × 1011 N2：> 10 mbar |
He：> 1 × 108 H2：> 10 mbar |
H2：1.5 × 106 H2：> 4 mbar |
Ar：> 1 × 1011 Ar：> 10 mbar |
| 極限真空*（使用推薦的前級泵） (5 m3/h) | < 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr) | |||
| 抽氣口法蘭 |
8 英寸外徑 CFF 2.6 英寸外徑 CFF |
ISO 160 ISO 100 |
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| 前級管道法蘭 | KF 16 NW（KF25 — 可選） | |||
| 轉速 | 60000 rpm（1010 Hz 驅動頻率） | |||
| 啟動時間 | 小于 3 分鐘 | |||
| 推薦的前級泵 |
機械：Agilent DS 102 干泵：Agilent SH 110 |
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| 工作位置 | 任意 | |||
| 操作環境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
| 空氣相對濕度 | 0%–90%（無冷凝） | |||
| 烘烤溫度 | 抽氣口法蘭最高溫度 120 °C（CFF 法蘭）抽氣口法蘭最高溫度 80 °C（ISO 法蘭） | |||
| 潤滑油 | 永久性潤滑 | |||
| 冷卻要求 |
風扇冷卻（環境溫度 5–35 C） 水冷（如果環境高于 35 ℃，需強制水冷） |
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| 冷卻水 |
最小流速： 50 L/h (0.89 GPM) |
溫度： +15 ℃ 至 +30 ℃ |
壓力： 3 至 5 bar（45 至 75 psi） |
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| 噪聲聲壓級 | 在 1 米處，< 50 dB(A) | |||
| 儲存溫度 | -40 °C 至 +70 °C | |||
| 最高海拔 | 3000 m | |||
| 重量 kg（磅）： |
泵 ISO 100：
5.5 (12.3) |
泵 CFF 6 英寸：
7.5 kg (16.5) |
泵 ISO 160：
5.7 kg (12.6) |
泵 CFF 8 英寸：
9.7 kg (20.9) |
