型號：Agilent TwisTorr 804 FS
特點：Agilent TwisTorr 804 FS 高真空渦輪分子泵采用 TwisTorr 拖動技術和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經濟性。TwisTorr 拖動技術對小分子氣體（如氫氣和氦氣）能提供高壓縮比，從而實現大抽氣量和高前級耐壓，進而能使用更經濟實惠、更小型的前級泵。該技術使得轉子能采用緊湊的設計，變得高效節能，并能保持較低的工作溫度。
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Agilent TwisTorr 804 FS 高真空渦輪分子泵采用 TwisTorr 拖動技術和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經濟性。TwisTorr 拖動技術對小分子氣體（如氫氣和氦氣）能提供高壓縮比，從而實現大抽氣量和高前級耐壓，進而能使用更經濟實惠、更小型的前級泵。該技術使得轉子能采用緊湊的設計，變得高效節能，并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統降低了噪音和振動，并能保證穩定的軸承工作條件，從而能延長工作壽命，最大程度減少系統停機時間，并能確保長時間穩定的抽氣性能。TwisTorr 804 FS 泵獨有的軸承和干式潤滑劑設計，使得泵無需泵油和維護，能夠以任意方向安裝。可選擇一體式控制器或機架控制器。
特性：
1.創新的 TwisTorr 技術 — 對小分子氣體的高壓縮比實現了高性能和小系統占用空間。
2.高前級耐壓 — 允許使用更小的前級泵，從而降低了系統成本和尺寸。
3.安捷倫懸浮軸承系統 — 低振動、低噪音和更好的軸承工作條件可延長泵的使用壽命，從而實現使用維護成本優化，最大程度減少系統停機時間，并保證長時間穩定的抽氣性能。
4.獨有的軸承和干式潤滑劑 — 免維護、免油，實現任意角度安裝。
5.“三維”泵控制軟件使靈活性、速度和簡便性達到最大化，可在泵的操作條件下達到更好通量和壓縮性能。
典型渦輪泵應用：
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設計旨在實際應用中達到更高性能。泵的緊湊型設計滿足工業中的嚴苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護，并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設備制造商，安捷倫均可針對您的應用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統。
典型渦輪泵應用：
| 領域 | 詳細說明 | 應用 |
| 質譜和分析儀器 |
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| 科研中的真空應用 |
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| 工業真空加工 |
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薄膜沉積：
設備加工：
一般工藝：
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| 納米技術儀器 |
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性能指標 ：
| 抽速： | ISO200K-F |
ISO250K-F
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CFF10 |
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N2 He H2 Ar |
720 L/s 660 L/s 485 L/s 690 L/s |
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| 最高氣體通量 (*) |
風冷 （空氣溫度 25 °C） |
水冷 （水溫 15 °C/室溫 25 °C） |
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| N2 |
4.3 mbar L/s 255 SCCM |
6.1 mbar L/s 367 SCCM |
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| He |
7.9 mbar L/s 467 SCCM |
10.4 mbar L/s 615 SCCM |
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| Ar |
1.5 mbar L/s 89 SCCM |
3.3 mbar L/s 195 SCCM |
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| (*) 前級泵 11.6 m3/h | |||
| 壓縮比與前級耐壓關系* | |||
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N2 He H2 Ar |
> 1E + 11 2E + 08 3E + 06 1E + 11 |
10 mbar 10 mbar 4 mbar 8.5 mbar |
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| (*) 前級耐壓定義為，在水冷模式下，當渦輪泵仍能產生 100 的壓縮比時的壓力 | |||
| 采用推薦前級泵時的極限真空 |
< 1 × 10-10 mbar (< 1 × 10-10 Torr) |
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| 抽氣口法蘭 |
ISO 200K，ISO 200F，ISO 250K， ISO 250F，CFF 10 英寸 |
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| 前級管道法蘭 | NW25 或 NW40 | ||
| 推薦的前級泵 |
DS302 IDP10 IDP15 |
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| 工作位置 | 任意 | ||
| 操作環境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | ||
| 潤滑油 | 永久性脂潤滑 | ||
| 冷卻要求 | |||
| 風冷 | 空氣溫度由 +5 °C 至 35 °C | ||
| 水冷 |
水溫由 +15 °C 至 +25 °C 水流速最低 100 L/h |
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噪音壓力級別 （全速運行時距離 1 m 處） |
43 dB(A) |
